抛光硅片
单面或双面抛光的 CZ / FZ 硅片，2 至 12 英寸，厚度、掺杂与晶向均可定制。
适用于各类半导体工艺的通用衬底。请告知所需直径、厚度、掺杂、电阻率范围和表面状态，我们会在一个工作日内确认可行性并报价。
科研小批量与长期量产订单均可承接。
规格参数
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 直径 | 2" / 3" / 4" / 6" / 8" / 12" |
| 生长方式 | CZ、FZ |
| 导电类型 / 掺杂 | P 型（硼）、N 型（磷、砷、锑）、本征 |
| 晶向 | <100>、<111>、<110> |
| 厚度 | 100–1500 µm（可定制） |
| 电阻率 | 0.001 – >10,000 Ω·cm |
| 表面 | 单抛 / 双抛 / 切割片 / 研磨片 |
应用领域
- 器件打样与工艺开发
- MEMS 与传感器制造
- 高校及科研院所研究
- 设备校准（测试片 / 陪片）