蓝宝石衬底
单晶 Al₂O₃ 衬底,提供 C、A、R、M 面,可选平片或图形化衬底。
蓝宝石兼具高硬度、化学稳定性与光学透明性。请告知外延工艺所需的晶面、偏角与表面状态。
规格参数
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 直径 | 2" / 4" / 6" / 8" |
| 晶面 | C、A、R、M 面;可定制偏角 |
| 厚度 | 300 – 1300 µm |
| 表面 | 单抛 / 双抛 / 图形化(PSS) |
应用领域
- LED 及功率器件 GaN 外延
- 射频及蓝宝石上硅电路
- 高硬度耐磨光学窗口
单晶 Al₂O₃ 衬底,提供 C、A、R、M 面,可选平片或图形化衬底。
蓝宝石兼具高硬度、化学稳定性与光学透明性。请告知外延工艺所需的晶面、偏角与表面状态。
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 直径 | 2" / 4" / 6" / 8" |
| 晶面 | C、A、R、M 面;可定制偏角 |
| 厚度 | 300 – 1300 µm |
| 表面 | 单抛 / 双抛 / 图形化(PSS) |